高重复频率皮秒激光烧蚀不锈钢的研究

摘要：

利用兆赫兹量级高重复频率皮秒激光对304不锈钢进行烧蚀,通过激光共聚焦显微镜和扫描电子显微镜对烧蚀表面进行测量观察.结果表明:单脉冲峰值能量密度和重复频率共同决定不锈钢的烧蚀率,单脉冲峰值能量密度与烧蚀阈值比值越大,烧蚀率越大;在高频低峰值能量密度下能获得更优的表面烧蚀质量.随着扫描速度的提高,烧蚀深度呈对数函数关系逐渐减小,烧蚀后的表面粗糙度先减小后趋于稳定.扫描速度在1.0～1.7 m/s内变化时,烧蚀率变化不大.因此采用交叉扫描路径有利于提高烧蚀后的表面质量.

关键词：激光光学、高重复频率、皮秒激光、烧蚀、峰值能量密度、扫描速度

所属期刊栏目：53

分类号：TG485(焊接、金属切割及金属粘接)

资助基金：中国科学院科研装备研制项目YZ201535

在线出版日期：2016-09-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：202-208