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10.3788/LOP53.070801

机器视觉非球面双远心物镜的设计

引用
为了用机器视觉检测技术精确检测微小零件的几何轮廓误差,设计了一套高分辨率非球面双远心物镜.根据检测要求确定系统的光学参数,运用架构分析法对系统进行整体光学初始结构设计.运用Zemax光学设计软件对初始结构进行优化,在物镜设计中引入非球面,使结构简化,并有效地平衡系统像差,提高像质.这个结构实现了低畸变(最大畸变小于一个像素)、高分辨率[在奈奎斯特频率90.91 lp/mm处调制传递函数(MTF)值优于0.7,全视场400 lp/mm处MTF值达到0.15]和双远心系统的设计要求.

几何光学、双远心光学系统、架构分析法、非球面

53

TH702(仪器、仪表)

广西制造系统与先进制造技术重点实验室主任基金;广西自然科学基金;桂林电子科技大学研究生科研创新项目

2016-09-06(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

128-136

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激光与光电子学进展

1006-4125

31-1690/TN

53

2016,53(7)

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