复合结构磁扭转微镜光纤电流传感器的研究

摘要：

提出一种复合结构微机电系统(MEMS)磁扭转微镜光纤电流传感器,传感部分由磁扭转微镜和双光纤准直器组成.介绍了MEMS扭转微镜的结构及电流传感原理.对电流传感器模型进行分析,结果表明,选择合适的准直器端面与微镜的距离,可以避免信号失真.利用归一化光强峰峰值作为交变电流来测量输出信号时,电流测量灵敏度随电流测量值的变化而变化,且被测电流的电流强度接近0时,测量灵敏度也接近0.因此采用归一化光强线性矫正信号处理方法,得到了很好的输出线性响应曲线,使电流测量灵敏度不受电流变化的影响.最后实验验证了理论分析和模拟仿真结果的正确性,实验测得的归一化光强线性矫正响应灵敏度约为0.034/A.

关键词：信号处理、光纤电流传感器、微机电系统、磁扭转微镜

所属期刊栏目：53

分类号：TN253(光电子技术、激光技术)

资助基金：福建省自然科学基金;福建省教育厅项目;实验室开放基金

在线出版日期：2016-09-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：113-120