黑硅红外探测器研究进展

摘要：

黑硅材料具有良好的光学吸收特性,广泛用于太阳能电池和红外探测器的制备中.基于黑硅材料制备的探测器具有光谱响应度大、响应范围宽、响应曲线较为平直等优点,介绍了黑硅红外探测器国内外的研究进展,其中涉及的黑硅制备方法包括飞秒激光辐照、皮秒激光辐照、湿法腐蚀、离子注入结合准分子纳秒激光辐照.讨论了目前黑硅红外探测器制备中存在的问题,包括黑硅在退火过程中吸收率下降严重以及黑硅表面电极制备难、载流子横向输运能力差等问题.对存在的问题进行了分析,总结了当前的解决方法,展望了黑硅红外探测器的发展趋势和应用前景.

关键词：探测器、黑硅、红外探测器、超饱和掺杂、光谱响应

所属期刊栏目：53

分类号：TN215;TN364.1(光电子技术、激光技术)

资助基金：国防科工局技术基础“十二五”科研项目KBA51302580、中航工业基础院科技创新基金项目JCY2015A002

在线出版日期：2016-09-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：32-38