光干涉法测量压电装置的响应特性

摘要：

针对一种压电陶瓷预负载结构,利用光学干涉法测量了其位移-电压特性,在测量过程中观察到压电装置及其支撑结构本身的共振会影响测量结果的准确性.进而对不同材质的多种压电装置采用不同的驱动频率进行了对比实验,证明了基于传统的测量装置应采用多次测量以获得更严谨的压电响应参数.

关键词：测量、共振频率、干涉、压电装置

所属期刊栏目：52

分类号：TN384(半导体技术)

在线出版日期：2015-09-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：143-147