高精度非接触式锥光全息测量系统设计及应用

摘要：

针对常见的工业零部件尺寸,基于锥光全息测量原理,设计一套高精度非接触式锥光全息测量系统,并用于测量钱币表面的高度信息.首先记录钱币的锥光全息图,接着对全息图的干涉条纹进行中心线细化处理,用以计算条纹宽度变化量,进而得到被测钱币表面高度的变化.实验结果表明,当物镜焦距为50 mm时,该测量系统的精确探测范围达到5 mm,测量误差在0.28％之内,验证了该系统设计方案的可行性和准确性.

关键词：全息、晶体双折射、锥光全息、中心线细化

所属期刊栏目：51

分类号：O438.1(光学)

在线出版日期：2014-09-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：83-88