基于Matlab和VC混合编程的三面互检程序设计

摘要：

研究了光学平面绝对检验的干涉测量方法:三面互检法.该方法需要三个被测平面,两两组合测量,就能够得到被测平面在通过其中心两个垂直方向的线轮廓数据.根据Matlab和VC混合编程思想,设计了带界面的三面互检计算软件,能够对任何一台干涉仪所采集到的实验数据进行快速计算,并进行了实验验证,得到了所测干涉仪参考平晶的绝对面形,相对于Zygo软件计算误差为3％.

关键词：测量、三面互检、Matlab、VC、混合编程

所属期刊栏目：51

分类号：O436(光学)

在线出版日期：2014-05-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：145-149