基于泰伯-莫尔干涉技术的焦距测量系统校准技术研究

摘要：

研制了一套用于测量超长焦距的泰伯-莫尔干涉仪,并设计了一套校准设备和方法对泰伯-莫尔干涉仪的测量不确定度进行评定,核准焦距范围达100m.校准设备包括了一套焦距发生器和激光光源,利用经过计量的标准透镜和实验对焦距发生器进行标定、测量和量值溯源.通过实验结果分析和计算,可知该校准技术具有良好的测量不确定度,能够对基于泰伯-莫尔方法的焦距测量系统进行精确校准.

关键词：测量、焦距、计量、泰伯-莫尔干涉

所属期刊栏目：51

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金61205016

在线出版日期：2014-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：115-119