长时间出光条件下反射镜的热变形对光束质量的影响

摘要：

基于有限元Comsol Multiphysics软件,模拟计算了长时间出光条件下反射镜的温度分布和热变形分布.对热变形引起的波像差采用前65阶Zernike模式分解,计算了不同时刻对应的光束质量因子,结果表明:光束质量因子主要来源于离焦像差的贡献,其他像差的影响可以忽略.在此基础上建立了光束质量因子与辐照时间的指数拟合关系,其均方根误差为0.0052.

关键词：光学器件、反射镜、热变形、Zernike像差、光束质量

所属期刊栏目：50

分类号：TN248(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2014-01-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：182-186