光刻投影物镜V形柔性轴向调节机构设计

摘要：

为了满足光刻投影物镜对轴向调节机构的调节行程大、精度高、结构紧凑等需求,基于三角形换向原理,设计了轴向调节机构.在调节机构中采用V形柔性单元换向机构,实现运动的换向和传递.针对机构的调节行程、驱动力、一阶固有频率以及机构传动比的要求,优化了V形柔性单元的结构尺寸参数.使用有限元方法分析了V形柔性单元的关键尺寸参数对机构性能的影响,得到机构调节行程可达±55 μm,调节精度优于±10 nm,一阶固有频率大于150 Hz.同时仿真分析了该轴向调节机构对光学元件的热变形的影响,在20 mW热载荷的作用下,该轴向调节机构导致光学元件面形变化为0.087 nm[峰谷(PV)值]和0.013 nm[均方根(RMS)值].仿真结果证明该轴向调节机构对光学元件面形精度影响极小,满足光刻物镜应用要求.

关键词：成像系统、光刻投影物镜、轴向调节机构、V形柔性单元、热变形

所属期刊栏目：50

分类号：TH703(仪器、仪表)

资助基金：国家重大科技专项02专项2009ZX02005;科技部中白国际合作项目2011DFR10010

在线出版日期：2013-11-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：93-99