大口径碳化硅反射镜面形子孔径拼接干涉检测

摘要：

为了突破大口径反射镜面形检测的瓶颈,提出了子孔径拼接干涉检验方法.分析研究了子孔径拼接的基本原理与实现流程.基于三角剖分算法、最小二乘拟合和齐次坐标变换等建立了综合优化子孔径拼接数学模型.结合工程实际,规划7个子孔径完成了口径为800mm的大口径碳化硅反射镜的拼接测量,获得了全口径面形分布.利用基准靶标并基于迭代算法实现了镜面物理坐标与拼接像素坐标之间的转换,从而为大口径反射镜后续数控精确加工提供了依据.

关键词：光学检测、大口径反射镜、碳化硅、子孔径拼接干涉术

所属期刊栏目：50

分类号：O439;O436.1(光学)

资助基金：国家863计划O8663NJ090;国家973计划2011CB0132005;国家自然科学基金重点项目61036015资助课题

在线出版日期：2013-07-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：114-119