硅基微通道板微孔结构形貌的实验研究

摘要：

硅基微通道板(MCP)的重要技术挑战之一就是如何在硅基上制作高深宽比的微孔阵列结构.采用光助电化学刻蚀方法研究硅基高深宽比微孔阵列制作技术.考虑到实际反应条件下的物质输送、刻蚀液浓度、光照条件、温度等因素的影响都体现在刻蚀电流与电压上,重点研究了电流、电压与微结构形貌之间的关系.通过空间电荷区的大小以及刻蚀电流与溶液浓度之间的关系,得到合理的刻蚀参数.在5 inch(1 inch=2.54 cm)硅基上制作出深度达200 μm以上的均匀深孔,得到大面积、高深宽比的均匀微孔阵列,满足微通道板对结构形貌的要求.

关键词：光学器件、微孔阵列、光助电化学刻蚀、空间电荷区、深宽比、探测器

所属期刊栏目：49

分类号：O436(光学)

资助基金：国家自然科学基金;深圳市科技研发项目;深圳市科技计划基础研究重点项目

在线出版日期：2012-10-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：160-163