共焦法布里-珀罗干涉显微测头光学特性分析

摘要：

根据纳米计量分辨力的要求,设计一套共焦法布里-珀罗(F-P)干涉显微测头.系统光源采用保偏光纤直接导入,从F-P腔外入射.光路设计成便于减小光学共模噪音的差动形式.通过建立模型分析系统光学特性,得出反射平板的最佳反射率以及共焦结构对干涉条纹的影响.实验验证表明反射平板反射率为40％时可以使系统得到对比度高,信噪比好的干涉条纹；针孔光阑可以方便寻找测量透镜的焦点和减小杂散光的噪音；系统轴向分辨力达到0.2 nm.

关键词：共焦法布里-珀罗干涉、反射率选择、干涉条纹分布、轴向分辨力

所属期刊栏目：49

分类号：TB921(计量学)

在线出版日期：2012-10-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：97-102