高分辨率投影光刻机光瞳整形技术

摘要：

在高分辨光学光刻技术中,光瞳整形技术针对不同的掩模图形产生特定的光瞳光强分布模式,从而实现分辨力增强,获得更好的成像性能.概述了高分辨率投影光刻机照明系统中基于衍射光学元件(DOE)、微透镜阵列(MLA)和微反射镜阵列(MMA)的3种光瞳整形技术,并对这些技术的工作原理、设计制作方法和性能特点进行了归纳与总结.

关键词：光学制造、光刻、离轴照明、光瞳整形、衍射光学元件、微透镜阵列、微反射镜阵列

分类号：O43;TN305.7(光学)

资助基金：国家科技重大专项2009ZX02205-001

在线出版日期：2012-03-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：38-45