高分辨率投影光刻机光瞳整形技术
在高分辨光学光刻技术中,光瞳整形技术针对不同的掩模图形产生特定的光瞳光强分布模式,从而实现分辨力增强,获得更好的成像性能.概述了高分辨率投影光刻机照明系统中基于衍射光学元件(DOE)、微透镜阵列(MLA)和微反射镜阵列(MMA)的3种光瞳整形技术,并对这些技术的工作原理、设计制作方法和性能特点进行了归纳与总结.
光学制造、光刻、离轴照明、光瞳整形、衍射光学元件、微透镜阵列、微反射镜阵列
O43;TN305.7(光学)
国家科技重大专项2009ZX02205-001
2012-03-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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