基于功率谱密度分析真空吸盘对加工KDP晶体表面的影响

摘要：

由于KDP(KH2PO4)晶体硬度低的特性,在利用单点金刚石切削技术对其进行加工的过程中,所使用的真空吸盘夹具会在其加工表面产生周期性波纹.周期性波纹在强激光非线性效应的作用下,不但会严重影响输出光束的质量,甚至还会破坏光学元件.因此,利用功率谱密度检测KDP晶体的加工表面,分析误差源,并指导加工工艺的改进.最后得出结论:在利用单点金刚石切削技术加工KDP晶体时,应根据不同的加工方式选择不同形状的真空吸槽作为夹具,尽量避免在垂直切削方向上使用真空吸槽吸附晶体,以减小吸槽的吸附力对晶体加工表面的影响.

关键词：光学制造、KDP晶体、真空吸盘、功率谱密度、表面波纹度

分类号：TG756(刀具、磨料、磨具、夹具、模具和手工具)

在线出版日期：2012-01-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：108-112