”2010中国光学重要成果”介绍

摘要：

@@ 飞秒激光制备微透镜及其在双光子荧光显微成像中的应用飞秒激光微加工技术具有超高的加工精度和对透明材料三维加工的能力,在当代微纳加工领域中独树一帜,成为多功能集成芯片制备中独具优势的解决方案.而在众多的芯片基底材料中,熔融石英以其优良的物化性能脱颖而出.当前,飞秒激光加工处理石英玻璃主要包括激光辐照和化学腐蚀等步骤,它能有效形成各种复杂三维微结构.

机标关键词：中国、光学、成果、China、飞秒激光、双光子荧光显微成像、微加工技术、三维微结构、多功能集成、芯片制备、物化性能、透明材料、石英玻璃、三维加工、熔融石英、解决方案、加工领域、加工精度、加工处理、激光制备

所属期刊栏目：48

分类号：F426.63(中国工业经济)

在线出版日期：2011-08-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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