光学元件柔性抛光材料对表面质量的影响

摘要：

气囊柔性抛光是一种新型的精密光学元件的抛光技术,在非球面制造领域有着广泛的应用.采用柔性气囊抛光装置,选择了三种不同的抛光模层材料进行实验,分析了抛光材料对样片表面粗糙度与表面缺陷的影响.实验研究表明,呢绒是一种高效的非球面元件柔性抛光的模层材料,丝绒材料适用于高质量超光滑元件的抛光.

关键词：光学制造、气囊抛光、模层材料、表面粗糙度

所属期刊栏目：48

分类号：TQ171.6

资助基金：陕西省重点实验室项目;西安工业大学校长基金

在线出版日期：2011-07-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：80-83