光学元件柔性抛光材料对表面质量的影响
气囊柔性抛光是一种新型的精密光学元件的抛光技术,在非球面制造领域有着广泛的应用.采用柔性气囊抛光装置,选择了三种不同的抛光模层材料进行实验,分析了抛光材料对样片表面粗糙度与表面缺陷的影响.实验研究表明,呢绒是一种高效的非球面元件柔性抛光的模层材料,丝绒材料适用于高质量超光滑元件的抛光.
光学制造、气囊抛光、模层材料、表面粗糙度
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TQ171.6
陕西省重点实验室项目;西安工业大学校长基金
2011-07-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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