CO2激光刻蚀PMMA制备微流道的研究

摘要：

介绍了采用CO2激光器对聚甲基丙烯酸甲脂(PMMA)板进行刻蚀制备微流道的工艺实验.通过实验分析工艺参数对微流道深度和宽度的影响及其中变化规律.结果表明,激光线能量密度与刻蚀微流道宽度两者关系呈指数增长,得到了线能量密度和微流道宽度的数学拟合公式,曲线和数据点拟合决定系数R2=0.96.当线能量密度小于300J/m时,微流道深度与线能量密度呈近似线性关系;当线能量密度大于300 J/m时,偏离线性关系.通过理论计算得到在低线能量密度下微流道深度的变化曲线图,并与实际测量值吻合较好.最后,通过优化工艺参数,制备出微流道宽度为170um,深度为180um的生物芯片.

关键词：激光刻蚀、聚甲基丙烯酸甲脂、CO2激光、微流道、深度模型

所属期刊栏目：48

分类号：TN248(光电子技术、激光技术)

资助基金：北京市教委重点项目KZ200910005006

在线出版日期：2011-07-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：56-61