类金刚石薄膜光学参数反演的改进遗传算法
椭偏法测试薄膜不能直接得到薄膜的光学参数,需进行数值反演算法近似求解.采用遗传算法,借鉴竞争选择、小生境和适应值调节思想,对选择算子、变异算子、交叉算子三个重要箅子进行了适当改进,改进后算法有效防止了”早熟”现象.并搜索到了全局最优,降低了操作者对拟合模型设定初值的要求.在实践上.通过3种拟合方式的结果对比,得到了可靠的某条件下制备的类金刚石薄膜的光学常数,验证了改进遗传算法在拟合薄膜光学常数中的有效性.
薄膜、类金刚石(DLC)薄膜、光学常数、改进遗传算法、椭偏数据反演
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O484.5;TN29(固体物理学)
2011-06-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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