二维纳米光栅国际比对结果

摘要：

随着纳米研究和纳米加工技术的发展,国际上越来越重视对纳米测量的有效性和溯源性.国际计量局(BIPM)尺度计量长度工作组(CCL-WGDM)长度咨询委员会先后提出并组织了5次纳米标准样板(NANO1～NANO5)的国际比对.NANO5比对是由丹麦基础计最技术研究院(DFM)主导的.该比对是从2005年1月开始,历时1年多结束.标准样板在12个国家计量研究院所间相互循环校准,形成三个有序的环.主导实验室DFM对比对数据进行了处理,其结果已于2008年7月底公布.比对结果证明中国计量科学研究院的纳米光栅测量装置与国际同行保持同等水平.

关键词：纳米计量、溯源、光栅衍射、二维光栅、国际比对、校准

所属期刊栏目：47

分类号：O348.11(固体力学)

在线出版日期：2011-01-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：11-15