高分辨率微通道板制造技术

摘要：

采用玻璃多纤维拉制(GMD)技术研制并批量生产了微小通道(孔径4～5μm)还原铅硅酸盐玻璃微通道板(MCP),空间分辨率达到95 lp/mm.优选皮-芯-实体边玻璃组合,解决了小通道实体边MCP制板过程中发生变形、破裂的难题;开发新的拉丝设备和技术以及细小直径单纤维的排棒、复式纤维的排屏工艺和相应的技术设备,保证单复丝拉制过程中纤维的尺寸误差不大于0.5%,解决了MCP增益的均匀性难题,实现了两步法拉丝制作孔径5μm以下MCP的工艺方法.制作的MCP平均孔径5 μm,厚度为0.25 mm,增益大于1×104(900 V).

关键词：微通道板、微小通道、多纤维拉制技术、玻璃、纤维

所属期刊栏目：47

分类号：TN223.1(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2011-05-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：97-101