复合光路光学镀膜宽光谱膜厚监控系统
介绍一种复合光路宽光谱膜厚监控系统及其软硬件开发,对系统结构组成和工作原理进行说明.通过增加中间通光孔式的分光镜的复合光路,基于LabVIEW平台开发宽光谱膜厚监控软件,实现了基于宽光谱扫描法的宽光谱膜厚监控和基于极值法的光学膜厚监控的兼容并用,提高了光学镀膜膜厚监控的精确性和自动化,为传统光学镀膜设备的升级改造提出了一种可行性技术.
膜厚监控、光学镀膜、复合光路、宽光谱
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O484.5(固体物理学)
广东省地市重点引导计划项目2004B16001084
2011-05-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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