大口径光学元件的精密检测技术

摘要：

随着光学元件口径的增大,光学系统对精度的要求提高,传统干涉仪检测手段已经不再满足要求.为了提高制造效率,需要适当的在线检测技术和多工段检测手段.结合现阶段系统研制的需要,介绍了子孔径拼接干涉榆测技术、数字刀口检测技术以及红外干涉检测技术,分别对其基本原理和具体应用进行了分析.

关键词：精密检测、大口径光学元件、子孔径拼接、数字刀口、红外干涉仪

分类号：TH706(仪器、仪表)

在线出版日期：2009-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：60-64