半导体激光化学刻蚀溶液浓度的电流变化选择法

摘要：

提出了一种激光诱导液相腐蚀新方法--利用腐蚀电流特性和腐蚀图像均匀度相结合的方法,选择出适合的腐蚀溶液.该方法可以提高激光液相腐蚀的性能,解决腐蚀溶液选择的诸多难题,在特殊结构光电器件和光电集成中具有很好的应用前景.

关键词：激光液相腐蚀、腐蚀溶液、电流特性、腐蚀图像

所属期刊栏目：44

分类号：TN305.2(半导体技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2002AA306421;电子科技大学校科研和教改项目JX05010

在线出版日期：2007-05-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：68-71