椭偏仪的研究进展
主要介绍了椭偏仪的测量原理,比较了不同结构的椭偏仪,并根据具体应用需求介绍了椭偏光谱仪、红外椭偏光谱仪、成像椭偏仪和广义椭偏仪,分析了椭偏仪的数据处理过程,最后展望了椭偏仪的发展趋势.
椭偏仪、膜厚、折射率
44
TH74(仪器、仪表)
国家自然科学基金60578051;上海市科委资助项目051107085
2007-04-25(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共7页
43-49
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椭偏仪、膜厚、折射率
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TH74(仪器、仪表)
国家自然科学基金60578051;上海市科委资助项目051107085
2007-04-25(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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