半导体激光诱导液相腐蚀精度的提高方法
从半导体激光诱导液相腐蚀的工艺原理出发,对影响刻蚀精度的主要因素进行了分析研究,从刻蚀图像分辨率、侧壁垂直度及底面平坦度、表面均匀化三个方面提出了改善刻蚀精度的方法.
光电子学、半导体刻蚀工艺、激光诱导液相腐蚀
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TN2(光电子技术、激光技术)
国家自然科学基金60277008;教育部科学技术研究重点项目03147;四川省科技厅资助项目04GG021-020-01;国防重点实验室基金04GG021-020-01
2006-12-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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