激光微技术的发展现状

摘要：

介绍了激光微加工技术的特点,与其它微加工技术相比,激光微加工具有非接触、有选择性加工、热影响区域小、高精度与高重复率等优点,既可以通过去除方式,也可以通过材料堆积进行微加工成型.综述了几种常用的激光微加工技术及其发展趋势,微机电系统(MEMS)技术的进一步成熟,必将带动激光微技术快速发展.

关键词：激光微技术、去除、加成、微成型

所属期刊栏目：43

分类号：V261.8(航空制造工艺)

资助基金：国家自然科学基金50575005;北京市教委资助项目KM200510005013

在线出版日期：2006-10-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：25-29