全硅片上光互连用波导
较详细地分析了用于全硅片上光互连所用光波导(如多晶Si/SiO2、Si/SiO2、Si3N4/SiO2)需满足的基本条件、制作方法以及损耗机制,总结了目前的研究进展.
光电子集成、光波导、互补型金属氧化物半导体(CMOS)、硅
43
TN2(光电子技术、激光技术)
国家自然科学基金NSFC605360300;天津市应用基础研究项目043800811
2006-09-18(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
27-31
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光电子集成、光波导、互补型金属氧化物半导体(CMOS)、硅
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TN2(光电子技术、激光技术)
国家自然科学基金NSFC605360300;天津市应用基础研究项目043800811
2006-09-18(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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