长程大型非球面轮廓测量仪的研究
总结了常用大型非球面光学元件轮廓检测方法及其特点.详细阐述了用于同步辐射光学元件检测的长程面形仪的基本原理、发展阶段、关键技术、误差补偿、现状及发展方向.并介绍了合肥国家同步辐射实验室长程面形仪的进展.
非球面、光学检测、斜度测量、轮廓测量仪、长程面形仪
43
TH74(仪器、仪表)
教育部"211"工程建设项目W15211070200
2006-03-23(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共8页
46-53
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非球面、光学检测、斜度测量、轮廓测量仪、长程面形仪
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TH74(仪器、仪表)
教育部"211"工程建设项目W15211070200
2006-03-23(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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