激光光声光谱法检测磷化氢气体浓度的研究
论述了光声光谱信号的产生.提出用光纤相位传感器代替传统的微音器检测光声信号.用CO2激光器作光源对磷化氢(PH3)气体浓度进行测量.实验表明,最低检测灵敏度可达1.2×10-10.信号处理电路具有较强的抑制噪声干扰能力.该传感器及其系统在灵敏度、精度、响应时间等性能指标上达到了检测气体含量要求.
光声光谱、激光检测、光纤气体传感器、相位调制
43
O433.1(光学)
2006-03-23(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
33-35
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光声光谱、激光检测、光纤气体传感器、相位调制
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O433.1(光学)
2006-03-23(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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