激光光声光谱法检测磷化氢气体浓度的研究

摘要：

论述了光声光谱信号的产生.提出用光纤相位传感器代替传统的微音器检测光声信号.用CO2激光器作光源对磷化氢(PH3)气体浓度进行测量.实验表明,最低检测灵敏度可达1.2×10-10.信号处理电路具有较强的抑制噪声干扰能力.该传感器及其系统在灵敏度、精度、响应时间等性能指标上达到了检测气体含量要求.

关键词：光声光谱、激光检测、光纤气体传感器、相位调制

所属期刊栏目：43

分类号：O433.1(光学)

在线出版日期：2006-03-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：33-35