微环谐振滤波器工艺制作过程的研究

摘要：

介绍了采用单环微谐振器的光滤波器的基本原理,详细介绍了旋转抛涂法、真空蒸发法、光刻及反应离子刻蚀法等制备微环谐振器的工艺过程.波导包层材料采用甲基丙稀酸甲酯-甲基丙稀酸环氧丙酯共聚物,以双酚A环氧树脂为高折射率调节剂,采用二者在共聚物中的不同配比来调节芯层材料的折射率.最后给出了实验结果.

关键词：微环谐振器、聚合物材料、光刻、反应离子刻蚀

所属期刊栏目：41

分类号：TN7(基本电子电路)

资助基金：中国科学院"百人计划"

在线出版日期：2005-01-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：39-41