薄膜应力测量方法研究

摘要：

总结了薄膜应力的一些测量方法.将经常使用的方法归纳为激光宏观变形分析法和X射线分析法.介绍了利用测量基片弯曲曲率的激光宏观变形分析法(包括激光干涉法和激光束偏转法)和晶格变形的X射线衍射法等测量薄膜应力的理论依据及其测量原理,计算了各种测量方法的测量精度,X射线分析法的精度最高,其次是激光干涉法,而激光束偏转法的精度最低,分析了激光分析法和X射线分析法的优缺点.

关键词：光学、薄膜、应力、激光干涉、激光偏转、X射线

所属期刊栏目：41

分类号：O76;O48

在线出版日期：2004-10-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：28-32