Study for infrared spectroscopic ellipsometric properties of diamond films
chemical vapor deposition、extinction coefficient、refractive index、microwave plasma、infrared region、surface layer、diamond films、hot filament
2
O4 ;TG1
国家自然科学基金60277024;上海市医苑新星基金02QE14018;上海市应用材料研究与发展基金0307
2004-06-25(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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