准分子激光微制造技术及其应用
比较分析四种微加工工艺的基本特征和技术难点,简述准分子激光与Nd:YAG激光微制造技术的特点和应用范围.结合华中科技大学准分子激光微制造工作站的建设及其在微钻孔、微切割等方面的实际应用,分析准分子激光在MEMS(微机电系统)键合、焊接、封装过程中应用的可能性.
准分子激光、微制造、MEMS封装
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TN2(光电子技术、激光技术)
国家高技术研究发展计划863计划2002AA421190
2004-04-09(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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