脉冲重复率5 kHz的高功率KrF激光器
@@引言 波长248 nm的KrF准分子激光器广泛用于不同技术领域，例如不同材料的微加工、紫外光刻和打标等。提高激光器的平均功率或脉冲重复率显然可提高工艺过程的效率。目前商品KrF激光器的最大平均功率不超过～300 W。 Lambda Physik, Komatsu, Cymer等主要公司实验室最近研制紫外光刻激光源的工作表明，KrF激光器的脉冲重复率可达2 kHz。KrF激光器的平均振荡功率为～20 W，谱宽～0.6 pm，对紫外光刻应用完全可以接受。脉冲重复率达到f～2 kHz主要是由于放电宽度较窄，b=3 mm。在中等气流速度下，较小的放电宽度原则上能够在下一放电脉冲来到时更换放电容积内的气体。 БорисовВ．М．等人描述了f～620 Hz、P≈600 W的KrF激光器。其放电体积为d×b×l=28 mm×8 mm×800 mm，式中d为电极间距离，l为放电长度。他们还在继续研究探索提高KrF激光重复率的条件。
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TN24(光电子技术、激光技术)
2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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