用激光束检查极板的新技术
日本电气株式会社开发了一种能在LSI生产线上高效检查极板灰尘和图形缺陷等障碍的技术“LB显示器”。 激光束对着极板斜向射入。极板上的图形有规则地排列,起衍射光栅的作用。新技术的要点是用空间滤波器去除图形的散射光。这样,正常极板发出的光不会射入显微镜。如果图形上有缺陷或吸附有灰尘,就能观察到散射光。 利用激光束检查极板以前曾有过。其光学系统比较复杂,除了物镜、成像透镜外,还有中间透镜等。而LB显示器的光学系统简单,光学检查探头约为以前的一半,可实现小型、轻量化。装置的设置面积可减到以前的1/5。以前的检查装置不能编入生产线,设置在另外的检查区域。LB显示器可设置在制造装置附近,因为光学头简单,故可靠性高,有利于维护。 因为能把检查结果即刻反映到生产线上,故大大提高了成品预测精度。现在,LSI生产方面的研究开发费、设备投资年年都在膨胀,为回收这笔费用,须开发新工艺、新装置,极力缩短从制作到批量生产和成品提高的时间。新技术有助于这些课题的解决。
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TN2(光电子技术、激光技术)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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