微光学电子机械系统中的微型反射镜阵列的应用前景

摘要：

综述利用微加工技术制作微型反射镜阵列；简要叙述其发展历程，着重阐述其主要功能和优点。分类分析微镜阵列的基本工作方式和主要应用领域及其发展方向，并对应用前景进行分析。

关键词：微型反射镜阵列、微型化技术、微机械系统、微光学电子机械系统

分类号：TN2(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：40-45