90年代多层膜软X射线反射镜的发展状况与未来动向
@@ 1引言多层膜软X射线反射镜简单地说是从E.Spiller开始,由T.W.Barbee,Jr,A.V.Vinogradov,J.H.Underwood等人建立的基础,后来又有众多研究人员加入到此多层膜软X射线反射镜的研究和应用研究中,不仅实现了反射镜的高品质化,而且还将其应用于分光、聚光、X射线望远镜、X射线显微镜、X射线激光器、激光核聚变等离子体观察、X射线缩小曝光(极紫外光刻)等,还开发了用于X射线光束分离器、多层膜衍射光栅、超级反射镜、软X射线偏光子等的元件,并取得了一定成果,到了20世纪90年代,多层膜软X射线反射镜的品质,尤其是大型化、耐热化、无缺陷化得到了很大改善,软X射线反射镜应用技术也得到了进一步发展.
多层膜、射线望远镜、反射镜、发展状况、应用研究、极紫外光刻、激光核聚变、光束分离器、应用技术、衍射光栅、线激光器、品质化、等离子体、显微镜、元件、人员、缺陷、曝光、耐热、开发
TP3;TN2
2007-05-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
31-35
