全固体化紫外激光技术

摘要：

@@ 高输出功率紫外激光器在产业上主要用作超精细微加工光源而倍受关注.但市场上以往出售的高输出紫外激光器主要是准分子激光器,存在着装置大、工作效率低、使用腐蚀性气体、要更换气体、价格昂贵、维修成本高等缺点.

机标关键词：固体化、紫外激光器、准分子激光器、高输出功率、腐蚀性气体、细微加工、维修成本、工作效率、装置、市场、价格、光源、出售、产业

分类号：TS1;TN8

在线出版日期：2007-05-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：19-22