利用准分子激光刻蚀法在光学玻璃上快速制作耐用的相位透射光栅

摘要：

@@ 1 简介现在各种产业对衍射、折射式和混合式的微小光学器件有着强烈的需求.随着这一领域的快速发展,已为微小光学元件的制造、复制和后期加工研制出许多方法,包括电子束刻蚀、光刻蚀、铸模、钻石切削和其它技术.

机标关键词：准分子激光、刻蚀法、光学玻璃、快速制作、相位、微小光学元件、电子束刻蚀、钻石切削、后期加工、光学器件、折射式、混合式、光刻蚀、铸模、制造、衍射、技术、复制、方法、产业

分类号：TN2(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2007-05-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：34-37