三氯化铁-草酸体系不锈钢化学机械抛光液设计与优化

摘要：

为提高柔性显示衬底不锈钢箔片化学机械抛光加工效率,研制一种三氯化铁-草酸型抛光液并用于304不锈钢衬底的化学机械抛光加工过程.设计正交优化试验,确定磨粒粒径、磨料含量、草酸含量和三氯化铁含量对材料去除率和表面粗糙度(Sa)的影响显著性顺序,并重点探究三氯化铁和草酸对材料去除率的影响规律.利用优化后的抛光液精抛304不锈钢,其材料去除率高于560 nm/min,抛光30 min后Sa低于8 nm.相比现有抛光液的材料去除效率(226.56 nm/min),新抛光液的加工效率提升超过1倍.

关键词：化学机械平坦化、304不锈钢、三氯化铁-草酸、材料去除率、表面粗糙度

所属期刊栏目：43

分类号：TG732;TH162;TN27(刀具、磨料、磨具、夹具、模具和手工具)

资助基金：江苏省精密与微细制造技术重点实验室开放基金项目;国家自然科学基金

在线出版日期：2023-09-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：497-503