SiC的添加量对树脂金刚石线切割能力的影响

摘要：

制备不同SiC含量的树脂金刚石线,并进行硅片切割试验.通过记录切割过程中的扭矩和加切情况,研究不同SiC添加量对树脂金刚石线切割能力的影响.结果表明:当树脂液中SiC添加量增加时,树脂金刚石线的切割能力逐渐增强;当SiC超过一定添加量时,切割能力有所降低.试验中,树脂液中SiC的添加量为600 g/L时,树脂金刚石线切割硅片产生的切割扭矩为96 N·m,且无加切情况,其切割能力最高;此时树脂固化后的邵氏硬度为91 HD,树脂层中的SiC分散均匀,无气孔等缺陷.

关键词：树脂金刚石线、硅片、多线切割、线锯、SiC

所属期刊栏目：40

分类号：TG74;TG58(刀具、磨料、磨具、夹具、模具和手工具)

资助基金：山东省自然科学基金ZR2017MEE076

在线出版日期：2020-11-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：69-73