磨粒尺寸和基体硬度对固结磨料抛光YAG晶体的影响

摘要：

钇铝石榴石(YAG)是一种应用广泛的硬脆难加工材料,其抛光过程工艺复杂、效率低.固结磨料抛光技术具有平坦化能力优、对工件形貌选择性高、磨料利用率高等优点.试验采用固结磨料抛光YAG晶体,研究固结磨料垫的基体硬度和金刚石磨粒尺寸对YAG晶体的材料去除率和表面质量的影响.结果表明:当基体硬度适中为Ⅱ、金刚石磨粒尺寸3～5μm时,固结磨料抛光YAG晶体效果最优,其材料去除率为255 nm/min,表面粗糙度Sa值为1.79 nm.

关键词：固结磨料抛光、YAG晶体、材料去除率、表面粗糙度、磨粒尺寸、基体硬度

所属期刊栏目：40

分类号：TH140;TG73;TG58

资助基金：江苏省自然科学基金;江苏省"六大人才高峰"高层次人才项目;中央高校基本科研业务费专项;实验室开放基金;创新基地实验室开放基金

在线出版日期：2020-07-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：86-90