基于ANSYS模拟的基体表面温度场对纳米金刚石膜沉积的影响

摘要：

为得到高质量的纳米金刚石膜,采用ANSYS软件对基体表面的温度场进行仿真,分别模拟不同热丝数量、不同热丝间距以及不同热丝/基体间距对基体表面温度场的影响并通过试验进一步验证.结果表明:热丝数量与热丝间距对基体表面温度场影响不大,实际应用中取适当值即可.当热丝/基体间距低于5 mm时,基体表面的温度场不均匀、呈波状起伏;当热丝/基体间距大于5 mm时,基体表面的平均温度随热丝/基体间距增大而下降,基体表面的温度场波状起伏现象消失,温度场分布趋于均匀.当热丝/基体间距为7 mm时,基体表面的温度场最均匀,所沉积的纳米金刚石膜纯度最高、内应力最小、质量最优.

关键词：化学气相沉积、热丝/基体距离、膜内应力、温度场

所属期刊栏目：40

分类号：TQ164

在线出版日期：2020-07-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：33-39