无氢气氛下铁对金刚石的刻蚀

摘要：

用铁粉在无流动氢气气氛下催化刻蚀金刚石.用扫描电子显微镜(SEM)、激光探针分析仪以及X射线衍射仪表征其表面形貌、刻蚀坑深度和刻蚀后金刚石的结构和成分,同时对金刚石的刻蚀行为进行分析.结果表明:在无氢气气氛下,铁粉通过其催化作用刻蚀金刚石晶体;刻蚀主要在金刚石的{111}、{100}面进行,且{100}面的刻蚀速率大于{111}面的,其刻蚀机制是通过铁-金刚石间形成Fe-C相实现的;且刻蚀受铁相含量影响,刻蚀后金刚石结构不变.

关键词：金刚石刻蚀、Fe-C、各向异性

所属期刊栏目：39

分类号：TQ164

在线出版日期：2019-11-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：13-15