孕镶金刚石硬质合金基底上沉积金刚石涂层工艺研究

摘要：

为提高金刚石涂层和基底的结合力,采用化学气相沉积方法在普通硬质合金和孕镶金刚石硬质合金基底上分别沉积金刚石涂层,并通过扫描电镜、拉曼光谱和压痕分析对比研究其结合性能.结果表明:在孕镶金刚石硬质合金基底上可以实现金刚石的同质与异质外延生长;在孕镶金刚石硬质合金基底上沉积的金刚石形核率高,晶形大小均匀,涂层表面平整;孕镶金刚石基底金刚石涂层的结合力优于硬质合金基底金刚石涂层膜基界面的结合力.在孕镶金刚石硬质合金基底上沉积金刚石膜可扩大金刚石涂层的应用范围.

关键词：原位沉积、形核率、金刚石晶型、结合力

所属期刊栏目：38

分类号：TQ164;TG71

资助基金：国家自然科学基金;中央高校专项基金项目

在线出版日期：2018-07-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：28-31