磨料尺寸对固结金刚石聚集体磨料垫研磨石英玻璃加工性能的影响

摘要：

石英玻璃的研磨加工是其超光滑抛光加工的前道工序,对其加工效率和最终表面质量影响甚大.针对石英玻璃的硬脆特性,采用固结金刚石聚集体磨料研磨垫,对其高效低损伤研磨加工工艺进行了研究.探索了金刚石聚集体磨粒的一次颗粒尺寸、二次颗粒尺寸、研磨压力和研磨液流量4因素对研磨石英玻璃加工性能的影响,综合优化得到加工效率高和表面质量优的工艺参数.实验表明:采用固结金刚石聚集体磨料研磨垫,当一次颗粒尺寸和二次颗粒尺寸分别为1.0～2.0 μm和20～25 μm,研磨压力为14 kPa,研磨液流量为60 mL/min时,材料去除率达到2.64 μm/min,平均表面粗糙度值Ra为54.2 nm.

关键词：石英玻璃、固结金刚石聚集体垫、原始颗粒、材料去除率、表面粗糙度

所属期刊栏目：37

分类号：TG58;TQ164(金属切削加工及机床)

资助基金：国家自然科学基金;南京航空航天大学研究生创新基地开放基金

在线出版日期：2018-03-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：12-18