金刚石线切割单晶碳化硅锯切力的实验研究

摘要：

从锯切力的角度对金刚石线锯锯切单晶SiC材料的加工过程进行了研究.得出了线速度、进给速度、线锯张紧力对锯切力的影响规律.从单位长度线锯材料去除量、锯切比能的角度讨论了锯切工艺对锯切力的影响机理.在金刚石线锯锯切单晶SiC过程中,锯切力随着线速度的增大而减小,随着进给速度的增大而增大,线速度与进给速度对锯切力的综合影响表现为:单位长度线锯材料去除量的增加会增大锯切力.单位长度线锯材料去除量对于金刚石线锯锯切单晶SiC材料的锯切比能具有显著的影响.

关键词：金刚石线锯、单晶SiC、锯切力、单位长度线锯材料去除量、比能

所属期刊栏目：34

分类号：TQ164;TG74

资助基金：国家自然科学基金51375179,U1034006;长江学者与创新团队发展计划IRT1063;福建省杰出青年基金2011J06021;中央高校基本科研业务费JB-GJ1003

在线出版日期：2014-03-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：6-9,14