固结磨料抛光中不同抛光液组分对铜的加工性能的影响

摘要：

通过单因素法研究了抛光液中的各组分(双氧水、络合剂乙二胺、缓蚀剂BTA)的浓度对固结磨料抛光铜材的表面粗糙度及材料去除速率的影响.结果表明:在试验浓度范围内,随着双氧水体积分数的增大,材料去除速率升高,表面粗糙度值减小;乙二胺可显著提高材料的去除速率,但随着乙二胺体积分数的增加,表面粗糙度值减小;随着BTA质量分数的增大,表面粗糙度值增大,材料去除速率降低.双氧水体积分数为5％,乙二胺体积分数为0.8％,BTA质量分数为0.1％时,抛光效果最佳,抛光后工件表面粗糙度为4.41 nm,材料去除速率达到2 932 nm/min.

关键词：铜、固结磨料抛光垫、材料去除速率、表面粗糙度

所属期刊栏目：33

分类号：TG74;TQ164(刀具、磨料、磨具、夹具、模具和手工具)

资助基金：国家自然科学基金5711260;中央高校基本科研业务费专项资金NP2012506

在线出版日期：2014-03-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1-6,11