电镀金刚石线锯超声振动切割多晶硅材料工艺研究

摘要：

通过电镀金刚石线锯在超声振动下切割多晶硅的实验,研究了工艺参数对材料去除率的影响,建立了单颗金刚石磨粒材料去除模型,分析了金刚石粒度、静压力和线速度与材料去除率的关系.分析表明:基于超声波线锯切削条件下,适当提高金刚石粒度、静压力和线速度有利于提高材料去除率.施加超声振动后金刚石锯切加工效率平均提高1～2.5倍.

关键词：多晶硅片、超声波加工、金刚石线锯、材料去除率

所属期刊栏目：33

分类号：TQ164;TG74

资助基金：辽宁省科技创新团队项目资助

在线出版日期：2013-04-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：65-69